Külls / Thoma / Hiermaier | Systematik eines Beschleunigungssensor-Designkonzepts auf MEMS-Basis. | Buch | 978-3-8396-0902-6 | sack.de

Buch, Deutsch, Band 28, 224 Seiten, Format (B × H): 147 mm x 205 mm, Gewicht: 328 g

Reihe: Schriftenreihe Forschungsergebnisse aus der Kurzzeitdynamik

Külls / Thoma / Hiermaier

Systematik eines Beschleunigungssensor-Designkonzepts auf MEMS-Basis.

Buch, Deutsch, Band 28, 224 Seiten, Format (B × H): 147 mm x 205 mm, Gewicht: 328 g

Reihe: Schriftenreihe Forschungsergebnisse aus der Kurzzeitdynamik

ISBN: 978-3-8396-0902-6
Verlag: Fraunhofer Verlag


In dieser Dissertation wird eine Methodik zur Entwicklung von Beschleunigungssensoren, die speziell hochfrequente Belastungen hoher Amplitude messen sollen, vorgestellt. Mithilfe der Methodik, welche gleichzeitig Sensitivität und Bandbreite des Sensors optimiert, wird ein piezoresistives Design entwickelt und gefertigt, das höhere Leistungsdaten aufweist als existierende Lösungen.
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