Claessen | Understanding Key Molecular Properties in a CVD Process Feasibility Study | Buch | 978-3-8311-4274-3 | www.sack.de

Buch, Deutsch, 212 Seiten, Format (B × H): 170 mm x 220 mm, Gewicht: 378 g

Claessen

Understanding Key Molecular Properties in a CVD Process Feasibility Study

Design of Volatile Non-halogenated Precursors for the Chemical Vapor Deposition (CVD) of Copper
1. Auflage 2002
ISBN: 978-3-8311-4274-3
Verlag: VDM Verlag Dr. Müller

Design of Volatile Non-halogenated Precursors for the Chemical Vapor Deposition (CVD) of Copper

Buch, Deutsch, 212 Seiten, Format (B × H): 170 mm x 220 mm, Gewicht: 378 g

ISBN: 978-3-8311-4274-3
Verlag: VDM Verlag Dr. Müller

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Autoren/Hrsg.

Claessen, Rolf
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