Ito / Tagawa / Horie | Polymeric Materials for Microelectronic Applications | Buch | 978-0-8412-3055-2 | www.sack.de

Buch, Englisch, Band 579, 540 Seiten, Format (B × H): 156 mm x 235 mm, Gewicht: 759 g

Reihe: ACS Symposium Series

Ito / Tagawa / Horie

Polymeric Materials for Microelectronic Applications

Science and Technology
Erscheinungsjahr 1995
ISBN: 978-0-8412-3055-2
Verlag: American Chemical Society

Science and Technology

Buch, Englisch, Band 579, 540 Seiten, Format (B × H): 156 mm x 235 mm, Gewicht: 759 g

Reihe: ACS Symposium Series

ISBN: 978-0-8412-3055-2
Verlag: American Chemical Society

Reports recent developments in polymer science and technology pertinent to microelectronics. Addresses such topics as photophysics and radiation physics and chemistry of polymers; photoresists, electron beam resists, and X-ray resists; insulating materials in microelectronics; photoresponsive materials; silicon-containing polymers; conducting polymers; and optoelectronic materials. Includes international contributions from both academia and industry.

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Autoren/Hrsg.

Ito, Hiroshi
Tagawa, Seiichi
Horie, Kazuyuki

Fachgebiete

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