Matsuo / Kase / Aoki | Ion Implantation Technology 2010 | Medienkombination | 978-0-7354-0876-0 | www.sack.de

Medienkombination, Englisch, Band 1321, 532 Seiten, mit 1 CD-ROM

Reihe: AIP Conference Proceedings / Materials Physics and Applications

Matsuo / Kase / Aoki

Ion Implantation Technology 2010

18th International Conference on Ion Implantation Technology IIT 2010
1. Auflage 2011
ISBN: 978-0-7354-0876-0
Verlag: AIP Press

18th International Conference on Ion Implantation Technology IIT 2010

Medienkombination, Englisch, Band 1321, 532 Seiten, mit 1 CD-ROM

Reihe: AIP Conference Proceedings / Materials Physics and Applications

ISBN: 978-0-7354-0876-0
Verlag: AIP Press

The proceedings of 18th International conference on Ion Implantation Technology (IIT2010) covers all aspect of ion implantation, from the fundamentals of ion-solid interactions to industrial applications of the latest implantation machines and device manufacturing.

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Zielgruppe

Research

Autoren/Hrsg.

Matsuo, Jiro
Kase, Masataka
Aoki, Takaaki
Seki, Toshio

Fachgebiete

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