Entwicklung und Analyse von spannungsoptischen Methoden zur Absolutspannungsmessung in anisotropen Halbleitermaterialien

Erscheinungsjahr 2025
ISBN: 978-3-95908-808-4
Verlag: TUDpress

Buch, Deutsch, Band 91, 130 Seiten, Format (B × H): 1580 mm x 2250 mm

Reihe: Dresdner Beiträge zur Sensorik

Mechanische Restspannungen beeinflussen die Fertigung von Halbleitermaterialien. Die spannungsoptische Methode bietet eine zerstörungsfreie Möglichkeit zur präzisen Messung dieser Spannungen – doch die starke Anisotropie der Materialien stellt eine besondere Herausforderung dar. Dieses Buch beleuchtet die spannungsinduzierte Doppelbrechung und zeigt Wege auf, wie sich die Spannungsoptik gezielt für Halbleitermaterialien anwenden lässt. Typischerweise lassen sich mit der Spannungsoptik nur Spannungsdifferenzen messen. Diese Arbeit präsentiert nun eine Möglichkeit, den absoluten Spannungszustand mit Hilfe der Spannungsoptik numerisch zu berechnen, was erlaubt, den vollständigen zweidimensionalen Spannungszustand zu ermitteln. Dies ermöglicht eine bessere Prozesskontrolle bei der Halbleiterkristallen.

Autoren/Hrsg.

Stöhr, Markus

Gerlach, Gerald

Fachgebiete

• Naturwissenschaften Physik Elektromagnetismus Optik
• Naturwissenschaften Physik Elektromagnetismus Elektrizität, Elektrodynamik
• Technische Wissenschaften Technik Allgemein Mess- und Automatisierungstechnik
• Technische Wissenschaften Elektronik | Nachrichtentechnik Elektronik Sensorik
• Interdisziplinäres Wissenschaften Wissenschaften Interdisziplinär Neurowissenschaften, Kognitionswissenschaft
• Technische Wissenschaften Sonstige Technologien | Angewandte Technik Angewandte Optik
• Technische Wissenschaften Energietechnik | Elektrotechnik Elektrotechnik
• Interdisziplinäres Wissenschaften Wissenschaften: Forschung und Information Forschungsmethodik, Wissenschaftliche Ausstattung
• Mathematik | Informatik Mathematik Numerik und Wissenschaftliches Rechnen Optimierung