Entwicklung und Analyse von spannungsoptischen Methoden zur Absolutspannungsmessung in anisotropen Halbleitermaterialien

Erscheinungsjahr 2025
ISBN: 978-3-95908-808-4
Verlag: TUDpress

Buch, Deutsch, Band 91, 130 Seiten, Format (B × H): 1580 mm x 2250 mm

Reihe: Dresdner Beiträge zur Sensorik

Mechanische Restspannungen beeinflussen die Fertigung von Halbleitermaterialien. Die spannungsoptische Methode bietet eine zerstörungsfreie Möglichkeit zur präzisen Messung dieser Spannungen – doch die starke Anisotropie der Materialien stellt eine besondere Herausforderung dar. Dieses Buch beleuchtet die spannungsinduzierte Doppelbrechung und zeigt Wege auf, wie sich die Spannungsoptik gezielt für Halbleitermaterialien anwenden lässt. Typischerweise lassen sich mit der Spannungsoptik nur Spannungsdifferenzen messen. Diese Arbeit präsentiert nun eine Möglichkeit, den absoluten Spannungszustand mit Hilfe der Spannungsoptik numerisch zu berechnen, was erlaubt, den vollständigen zweidimensionalen Spannungszustand zu ermitteln. Dies ermöglicht eine bessere Prozesskontrolle bei der Halbleiterkristallen.

Autoren/Hrsg.

Stöhr, Markus

Gerlach, Gerald

Fachgebiete

• Interdisziplinäres Wissenschaften Wissenschaften Interdisziplinär Neurowissenschaften, Kognitionswissenschaft
• Naturwissenschaften Physik Elektromagnetismus Elektrizität, Elektrodynamik
• Interdisziplinäres Wissenschaften Wissenschaften: Forschung und Information Forschungsmethodik, Wissenschaftliche Ausstattung
• Naturwissenschaften Physik Elektromagnetismus Optik
• Technische Wissenschaften Energietechnik | Elektrotechnik Elektrotechnik
• Technische Wissenschaften Elektronik | Nachrichtentechnik Elektronik Sensorik
• Mathematik | Informatik Mathematik Numerik und Wissenschaftliches Rechnen Optimierung
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