Thompson / Willson / Bowden | Introduction to Microlithography | Buch | sack.de

Thompson / Willson / Bowden Introduction to Microlithography



2. Auflage 1994, 540 Seiten, Gebunden, Format (B × H): 160 mm x 235 mm, Gewicht: 856 g Reihe: Acs Professional Reference Boo
ISBN: 978-0-8412-2848-1
Verlag: AMER CHEMICAL SOC


Thompson / Willson / Bowden Introduction to Microlithography

Updated and expanded! Reviews the theory, materials, and processes that are used in the lithographic process. Opens with a brief historical introduction to the advances in microlithography. Discusses four major topics: the physics of the lithographic process, organic resist materials, resist processing, and plasma etching. Designed as a tutorial for researchers with no experience in the field, as well as those experienced in microlithography. Will also prove invaluable to those already involved in microlithography. Includes numerous references for more detailed reading on specific aspects of microlithography.

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