Thompson / Willson / Tagawa | Polymers for Microelectronics | Buch | 978-0-8412-2721-7 | www.sack.de

Buch, Englisch, Band 537, 554 Seiten, Format (B × H): 158 mm x 234 mm, Gewicht: 880 g

Reihe: ACS Symposium Series

Thompson / Willson / Tagawa

Polymers for Microelectronics

Resists and Dielectrics
Erscheinungsjahr 1994
ISBN: 978-0-8412-2721-7
Verlag: American Chemical Society

Resists and Dielectrics

Buch, Englisch, Band 537, 554 Seiten, Format (B × H): 158 mm x 234 mm, Gewicht: 880 g

Reihe: ACS Symposium Series

ISBN: 978-0-8412-2721-7
Verlag: American Chemical Society

Presents recent advances in chemically amplified resists for deep UV, electron beam, and X-ray advanced lithographic technologies. Discusses top surface imaging and dry development resists. Examines the fundamental chemistry of radiation-sensitive materials, including dielectric polymers for integrated circuits and interconnect systems. Valuable reading for polymer chemists, radiation chemists, and materials scientists.

Thompson / Willson / Tagawa Polymers for Microelectronics jetzt bestellen!

Autoren/Hrsg.

Thompson, Larry F.
Willson, C. Grant
Tagawa, Seiichi

Fachgebiete

Ihre Fragen, Wünsche oder Anmerkungen
Vorname*
Nachname*
Ihre E-Mail-Adresse*
Kundennr.
Ihre Nachricht*
Lediglich mit * gekennzeichnete Felder sind Pflichtfelder.
Wenn Sie die im Kontaktformular eingegebenen Daten durch Klick auf den nachfolgenden Button übersenden, erklären Sie sich damit einverstanden, dass wir Ihr Angaben für die Beantwortung Ihrer Anfrage verwenden. Selbstverständlich werden Ihre Daten vertraulich behandelt und nicht an Dritte weitergegeben. Sie können der Verwendung Ihrer Daten jederzeit widersprechen. Das Datenhandling bei Sack Fachmedien erklären wir Ihnen in unserer Datenschutzerklärung.