Widmann / Mader / Friedrich | Technology of Integrated Circuits | Buch | 978-3-642-08547-5 | www.sack.de

Buch, Englisch, 342 Seiten, Previously published in hardcover, Format (B × H): 155 mm x 235 mm, Gewicht: 546 g

Reihe: Springer Series in Advanced Microelectronics

Widmann / Mader / Friedrich

Technology of Integrated Circuits


1. Auflage. Softcover version of original hardcover Auflage 2000
ISBN: 978-3-642-08547-5
Verlag: Springer

Buch, Englisch, 342 Seiten, Previously published in hardcover, Format (B × H): 155 mm x 235 mm, Gewicht: 546 g

Reihe: Springer Series in Advanced Microelectronics

ISBN: 978-3-642-08547-5
Verlag: Springer

This is the first book to comprehensively record the authors’ authoritative knowledge and practical experience of IC manufacturing, including the tremendous developments of recent years. With its strong application orientation, this is a must-have book for professionals in semiconductor industries.

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Zielgruppe

Research

Autoren/Hrsg.

Widmann, D.
Mader, H.
Friedrich, H.

Fachgebiete

Weitere Infos & Material

1 Introduction.- 2 Basic principles of integrated circuits technology.- 3 Film technology.- 4 Lithography.- 5 Etching technology.- 6 Doping technology.- 7 Cleaning technology.- 8 Process integration.- References.

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