Behrisch / Eckstein | Sputtering by Particle Bombardment | E-Book | www.sack.de
E-Book

E-Book, Englisch, Band 110, 509 Seiten

Reihe: Topics in Applied Physics

Behrisch / Eckstein Sputtering by Particle Bombardment

Experiments and Computer Calculations from Threshold to MeV Energies
1. Auflage 2007
ISBN: 978-3-540-44502-9
Verlag: Springer Berlin Heidelberg
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

Experiments and Computer Calculations from Threshold to MeV Energies

E-Book, Englisch, Band 110, 509 Seiten

Reihe: Topics in Applied Physics

ISBN: 978-3-540-44502-9
Verlag: Springer Berlin Heidelberg
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

This book provides a long-needed survey of new results. Especially welcome is a new summary of the measured and calculated sputtering yields with an algebraic approximation formula for the energy and angular dependence of the yields, which is useful for researchers who need sputtering yields for physics research or applied problems. The book offers a critical review of computational methods for calculating sputtering yields and also includes molecular dynamics calculations.

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Autoren/Hrsg.

Behrisch, Rainer
Eckstein, Wolfgang
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