Buch, Englisch, 622 Seiten, Format (B × H): 183 mm x 260 mm, Gewicht: 1446 g
Reihe: Microdevices
Buch, Englisch, 622 Seiten, Format (B × H): 183 mm x 260 mm, Gewicht: 1446 g
Reihe: Microdevices
ISBN: 978-0-306-44146-2
Verlag: Springer US
In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.
Zielgruppe
Research
Autoren/Hrsg.
Fachgebiete
- Technische Wissenschaften Technik Allgemein Nanotechnologie
- Naturwissenschaften Physik Thermodynamik Oberflächen- und Grenzflächenphysik, Dünne Schichten
- Naturwissenschaften Physik Thermodynamik Festkörperphysik, Kondensierte Materie
- Technische Wissenschaften Elektronik | Nachrichtentechnik Elektronik Elektronische Baugruppen, Elektronische Materialien
- Naturwissenschaften Physik Angewandte Physik
- Technische Wissenschaften Technik Allgemein Physik, Chemie für Ingenieure
- Technische Wissenschaften Verfahrenstechnik | Chemieingenieurwesen | Biotechnologie Technologie der Oberflächenbeschichtung
Weitere Infos & Material
1. Preliminary Survey.- 2. Particle Beams: Sources, Optics, and Interactions.- 3. Plasmas: Physics and Chemistry.- 4. Layering Technologies.- 5. Pattern Generation.- 6. Microcharacterization.- 7. Limits to Nanofabrication.- Appendixes.- Author Index.
