Brodie / Muray | The Physics of Micro/Nano-Fabrication | E-Book | sack.de
E-Book

E-Book, Englisch, 622 Seiten, eBook

Reihe: Microdevices

Brodie / Muray The Physics of Micro/Nano-Fabrication


Erscheinungsjahr 2013
ISBN: 978-1-4757-6775-9
Verlag: Springer US
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

E-Book, Englisch, 622 Seiten, eBook

Reihe: Microdevices

ISBN: 978-1-4757-6775-9
Verlag: Springer US
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.

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Zielgruppe

Research

Autoren/Hrsg.

Brodie, Ivor
Muray, Julius J.

Weitere Infos & Material

1. Preliminary Survey.- 2. Particle Beams: Sources, Optics, and Interactions.- 3. Plasmas: Physics and Chemistry.- 4. Layering Technologies.- 5. Pattern Generation.- 6. Microcharacterization.- 7. Limits to Nanofabrication.- Appendixes.- Author Index.

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