Mikrosystemtechnik

Vom Transistor zum Biochip
1. Auflage 2016
ISBN: 978-3-662-49772-2
Verlag: Springer

Buch, Deutsch, 151 Seiten, Paperback, Format (B × H): 127 mm x 190 mm, Gewicht: 187 g

Reihe: Technik im Fokus

Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her?

Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt: von der Fahrzeugtechnik über die Biomedizintechnik und Kommunikationstechnik bis zum Umweltschutz. Es sind kleine Produkte mit großer Wirkung: die einzelnen Komponenten können einige Mikrometer groß sein, die ganzen Systeme meist einige Millimeter. Der Autor beschreibt die technische Entwicklung der Mikrosystemtechnik und erläutert an Hand typischer Anwendungen ihre Bauweise, Funktion und Herstellung. Und er geht auf die zukünftigen Trends dieser Schlüsseltechnologie ein.

Zielgruppe

Popular/general

Autoren/Hrsg.

Büttgenbach, Stephanus

Fachgebiete

• Mathematik | Informatik EDV | Informatik Technische Informatik Eingebettete Systeme
• Technische Wissenschaften Elektronik | Nachrichtentechnik Elektronik Elektronische Baugruppen, Elektronische Materialien
• Technische Wissenschaften Technik Allgemein Nanotechnologie
• Technische Wissenschaften Maschinenbau | Werkstoffkunde Maschinenbau Mechatronik, Mikrosysteme (MEMS), Nanosysteme

Inhaltsverzeichnis

Einleitung.- Transistor und Halbleitertechnik.- Piezoresistiver Effekt.- Bulk Micromachining.- LIGA-Verfahren.- Surface Micromachining.- Atomic Force Microscope (AFM).- Entwicklung von Ultrakurzpulslasern.- µTAS (Micro Total Analysis System)-Konzept.- Deep Reactive Ion Etching (DRIE).- Soft-Lithografie.- Die Zukunft.

Über Autor(innen)

Stephanus Büttgenbach ist ein Experte der Mikrosystemtechnik. Er arbeitet seit 1985 in Forschung, Entwicklung und Lehre auf diesem Gebiet in Industrie und Universität. Er ist in nationalen und europäischen Fachgesellschaften engagiert.