E-Book, Deutsch, 151 Seiten, eBook
Reihe: Technik im Fokus
Büttgenbach Mikrosystemtechnik
1. Auflage 2016
ISBN: 978-3-662-49773-9
Verlag: Springer
Format: PDF
Kopierschutz: 1 - PDF Watermark
Vom Transistor zum Biochip
E-Book, Deutsch, 151 Seiten, eBook
Reihe: Technik im Fokus
ISBN: 978-3-662-49773-9
Verlag: Springer
Format: PDF
Kopierschutz: 1 - PDF Watermark
Zielgruppe
Popular/general
Autoren/Hrsg.
Weitere Infos & Material
Einleitung.- Transistor und Halbleitertechnik.- Piezoresistiver Effekt.- Bulk Micromachining.- LIGA-Verfahren.- Surface Micromachining.- Atomic Force Microscope (AFM).- Entwicklung von Ultrakurzpulslasern.- µTAS (Micro Total Analysis System)-Konzept.- Deep Reactive Ion Etching (DRIE).- Soft-Lithografie.- Die Zukunft.