Chen / Chang | Lecture Notes on Principles of Plasma Processing | E-Book | www.sack.de
E-Book

E-Book, Englisch, 208 Seiten

Chen / Chang Lecture Notes on Principles of Plasma Processing


Erscheinungsjahr 2012
ISBN: 978-1-4615-0181-7
Verlag: Springer US
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

E-Book, Englisch, 208 Seiten

ISBN: 978-1-4615-0181-7
Verlag: Springer US
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Autoren/Hrsg.

Chen, Francis F.
Chang, Jane P.
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