Christophorou / Olthoff | Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases | E-Book | www.sack.de
E-Book

E-Book, Englisch, 781 Seiten

Reihe: Physics of Atoms and Molecules

Christophorou / Olthoff Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases


Erscheinungsjahr 2012
ISBN: 978-1-4419-8971-0
Verlag: Springer US
Format: PDF
Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

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Reihe: Physics of Atoms and Molecules

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