Buch, Englisch, Band 110, 509 Seiten, Format (B × H): 160 mm x 241 mm, Gewicht: 951 g
Reihe: Topics in Applied Physics
Experiments and Computer Calculations from Threshold to MeV Energies
Buch, Englisch, Band 110, 509 Seiten, Format (B × H): 160 mm x 241 mm, Gewicht: 951 g
Reihe: Topics in Applied Physics
ISBN: 978-3-540-44500-5
Verlag: Springer Berlin Heidelberg
This book provides a long-needed survey of new results. Especially welcome is a new summary of the measured and calculated sputtering yields with an algebraic approximation formula for the energy and angular dependence of the yields, which is useful for researchers who need sputtering yields for physics research or applied problems. The book offers a critical review of computational methods for calculating sputtering yields and also includes molecular dynamics calculations.
Zielgruppe
Research
Autoren/Hrsg.
Fachgebiete
- Technische Wissenschaften Verfahrenstechnik | Chemieingenieurwesen | Biotechnologie Technologie der Oberflächenbeschichtung
- Naturwissenschaften Physik Angewandte Physik
- Technische Wissenschaften Technik Allgemein Physik, Chemie für Ingenieure
- Naturwissenschaften Physik Thermodynamik Plasmaphysik
- Naturwissenschaften Physik Thermodynamik Oberflächen- und Grenzflächenphysik, Dünne Schichten
- Naturwissenschaften Physik Thermodynamik Festkörperphysik, Kondensierte Materie
- Naturwissenschaften Chemie Physikalische Chemie
- Technische Wissenschaften Maschinenbau | Werkstoffkunde Technische Mechanik | Werkstoffkunde Werkstoffkunde, Materialwissenschaft: Forschungsmethoden
Weitere Infos & Material
and Overview.- Computer Simulation of the Sputtering Process.- Sputtering Yields.- Results of Molecular Dynamics Calculations.- Energy and Angular Distributions of Sputtered Species.- Chemical Sputtering.- Electronic Sputtering with Swift Heavy Ions.
