Ehrlich / Tsao | Laser Microfabrication | E-Book | www.sack.de
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E-Book, Englisch, 587 Seiten, Web PDF

Ehrlich / Tsao Laser Microfabrication

Thin Film Processes and Lithography
1. Auflage 1989
ISBN: 978-0-08-091802-0
Verlag: Elsevier Science & Techn.
Format: PDF
Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

Thin Film Processes and Lithography

E-Book, Englisch, 587 Seiten, Web PDF

ISBN: 978-0-08-091802-0
Verlag: Elsevier Science & Techn.
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Kopierschutz: 1 - PDF Watermark



This book reviews the solid core of fundamental scientific knowledge on laser-stimulated surface chemistry that has accumulated over the past few years. It provides a useful overview for the student and interested non-expert as well as essential reference data (photodissociation cross sections, thermochemical constants, etc.) for the active researcher.

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Zielgruppe


Academic/professional/technical: Undergraduate. Academic/professional/technical: Postgraduate. Academic/professional/technical: Research and professional



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