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    Heuberger Mikromechanik

    Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie
    Softcover Nachdruck of the original 1. Auflage 1989
    Verlag: Springer
    ISBN: 978-3-642-46622-9
    Medium: Buch
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    Heuberger / Ryssel / Lange ESSDERC '89

    19th European Solid State Device Research Conference, Berlin
    Softcover Nachdruck of the original 1. Auflage 1989
    Verlag: Springer
    ISBN: 978-3-642-52316-8
    Medium: Buch
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