Glück MEMS in der Mikrosystemtechnik

Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme
Erscheinungsjahr 2015
ISBN: 978-3-663-10778-1
Verlag: Vieweg & Teubner
Format: PDF
Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

E-Book, Deutsch, 212 Seiten, Web PDF

Reihe: Computer Science and Engineering (German Language)

Sie messen den Reifendruck, lösen in Millisekunden Airbags aus und helfen Autofahrern beim Einparken. Mit ihnen bestimmen Mediziner den Sauerstoffgehalt im Blut. In Spül- und Waschmaschinen stellen sie den Verschmutzungs- und Härtegrad des Wassers fest. Sie sorgen dafür, dass winzige elektronische Bauteile auf den tausendsten Millimeter genau auf Leiter platten platziert werden. Vom Automobil über hoch komplizierte Maschinen bis hin zur klini schen Medizin funktioniert kaum mehr etwas ohne mikrosystemtechnische Sensoren. Schon heute sind die ,,Mikroelektromechanischen Sensorsysteme" (abgekürzt: MEMS) aus unserem täglichen Leben nicht mehr wegzudenken. Airbags, ABS- und ESP Systeme, Herz schrittmacher und Mobiltelefone sind nur einige Beispiele für Produkte, in denen mikrotech nische Produkte eine entscheidende Rolle spielen. In eben dieser enormen Breite des Anwendungsspektrums liegt die besondere Bedeutung dieser Querschnitttechnologie - einer Königsdisziplin der Mechatronik und der Mikrosystem technik. Dennoch vollzog sich in den letzten Jahren ein fundamentaler Wandel. Unter dem Oberbegriff der ,,Mikroelektromechanischen Sensorsysteme" (oder MEMS) wird zusehends die Integration von Sensoren und Aktuatoren der Mechatronik, der Mikrosystemtechnik und der Mikroelektronik unter Ausnutzung moderner Massenfertigungstechnologien verstanden. Dadurch erschließen sich überaus attraktive Anwendungsmöglichkeiten in den Bereichen Automobilelektronik, der Umwelt-, der Automatisierungs- sowie der Luft- und Raumfahrt technik. Hierbei kommt der ,,Mikromechatronik" - der Synthese aus Mikromechanik, Mikro elektronik sowie der Informations- und Kommunikationtechnik als kybernetisches System auf einem miniaturisierten Funktionsträger - eine bedeutsameSchrittmacherfunktion zu. Mehr und mehr wird die ,,Mikromechatronik" zur Grundlage für innovative Produkte mit gesteiger ter Funktionalität, höherer Zuverlässigkeit und besserer Wirtschaftlichkeit.

Zielgruppe

Upper undergraduate

Autoren/Hrsg.

Glück, Markus

Inhaltsverzeichnis

1 Einführung.- 2 Grundlagen.- 3 Herstellungsverfahren der MEMS Fertigung.- 4 Temperatursensoren.- 5 Magnetfeldsensoren.- 6 Strahlungssensoren und Fotodetektoren.- 7 Mikro-Elektro-Mechanische Sensorsysteme.- 8 Chemische Sensoren.- 9 Systemintegration und Datenübertragung.- 10 Energieversorgung.- Symbolverzeichnis.- Literatur- und Quellenverzeichnis.- Stichwortverzeichnis.

Über Autor(innen)

Dr.-Ing. Markus Glück ist Geschäftsführer und Leiter des Technologiezentrum Westbayern und seit 2003 Lehrbeauftragter an der FH Augsburg.