E-Book, Deutsch, 368 Seiten, eBook
Reihe: VDI-Buch
Kienel Vakuumbeschichtung
1994
ISBN: 978-3-642-57904-2
Verlag: Springer
Format: PDF
Kopierschutz: 1 - PDF Watermark
Anlagenautomatisierung — Meß- und Analysentechnik
E-Book, Deutsch, 368 Seiten, eBook
Reihe: VDI-Buch
ISBN: 978-3-642-57904-2
Verlag: Springer
Format: PDF
Kopierschutz: 1 - PDF Watermark
Zielgruppe
Professional/practitioner
Autoren/Hrsg.
Weitere Infos & Material
1 Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.- 1.1 Vorbemerkungen.- 1.2 Steuerungssysteme.- 1.3 Materialfluß.- 1.4 Automatisierung von Teilsystemen.- 1.5 Beispiele für die Automatisierung von Beschichtungsprozessen.- 2 Messungen an Dünnen Schichten während des Beschichtungsprozesses.- 2.1 Bestimmung der Schichtdicke durch Widerstandsmessung.- 2.2 Ratenmessung durch Teilchen-Ionisierung und -Anregung.- 2.3 Schichtdicken und Aufdampfratemessung mit Schwingquarz.- 2.4 Optische Meßverfahren.- 2.5 Schichtdickenbestimmung durch Wägung im Vakuum.- 2.6 Bestimmung der Schichtdicke und der Schichtzusammensetzung durch Röntgenemission und Röntgenfluoreszenz.- 2.7 Atomemissionsspektroskopie.- 3 Messungen an dünnen Schichten nach beendetem Beschichtungsprozeß.- 3.1 Messung der thermischen Leitfähigkeit.- 3.2 Elektrische Leitfähigkeit.- 3.3 Magnetische Eigenschaften.- 3.4 Messung von Farbeigenschaften.- 3.5 Optische Eigenschaften.- 3.6 Permeation.- 3.7 Mechanische Spannungen in dünnen Schichten.- 3.8 Härtemessung.- 3.9 Haftfestigkeit.- 3.10 Rauheit von Festkörperoberflächen.- 3.11 Mikrogeometrische Eigenschaften.- 3.12 Schichtdickenmessung.- 3.13 Bestimmung von Pinholedichten.- 4 Moderne Verfahren der Oberflächen-und Dünnschichtanalyse.- 4.1 Physikalische Grundlagen oberflächenanalytischer Verfahren.- 4.2 Ortsaufgelöste Analysen mit AES, XPS, SIMS und SNMS.- 4.3 Sputter-Tiefenprofilanalysen.- 4.4 Rastertunnelmikroskopie.- 4.5 Mikrosonde (Elektronenstrahlmikrosonde).- 4.6 Anwendungsbeispiele zur Oberflächen-und Dünnschichtanalytik.- Literatur.- Sachwortverzeichnis.- Autorenverzeichiiis.
