Pal / Sato | Silicon Wet Bulk Micromachining for MEMS | E-Book | www.sack.de
E-Book

E-Book, Englisch, 424 Seiten

Pal / Sato Silicon Wet Bulk Micromachining for MEMS


Erscheinungsjahr 2017
ISBN: 978-1-315-34127-9
Verlag: Taylor & Francis eBooks
Format: EPUB
 Kopierschutz: Adobe DRM (»Systemvoraussetzungen)

E-Book, Englisch, 424 Seiten

ISBN: 978-1-315-34127-9
Verlag: Taylor & Francis eBooks
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Autoren/Hrsg.

Pal, Prem
Sato, Kazuo
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