Buch, Deutsch, 500 Seiten, Format (B × H): 170 mm x 244 mm, Gewicht: 887 g
Reihe: Mikroelektronik
Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen
Buch, Deutsch, 500 Seiten, Format (B × H): 170 mm x 244 mm, Gewicht: 887 g
Reihe: Mikroelektronik
ISBN: 978-3-540-17670-1
Verlag: Springer
Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.
Zielgruppe
Professional/practitioner
Autoren/Hrsg.
Weitere Infos & Material
1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Strukturübertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Prozeßintegration.- 13 Design-Regeln.- 14 Prozeßcharakterisierung.- 15 Prozeßkontrolle.- 16 Ausbeute und Zuverlässigkeit.
