Schumicki / Seegebrecht | Prozeßtechnologie | E-Book | www.sack.de
E-Book

E-Book, Deutsch, 500 Seiten, eBook

Reihe: Mikroelektronik

Schumicki / Seegebrecht Prozeßtechnologie

Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen
1991
ISBN: 978-3-662-09540-9
Verlag: Springer
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen

E-Book, Deutsch, 500 Seiten, eBook

Reihe: Mikroelektronik

ISBN: 978-3-662-09540-9
Verlag: Springer
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

Schumicki / Seegebrecht Prozeßtechnologie jetzt bestellen!

Zielgruppe

Professional/practitioner

Autoren/Hrsg.

Schumicki, Günter
Seegebrecht, Peter

Weitere Infos & Material

1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Strukturübertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Prozeßintegration.- 13 Design-Regeln.- 14 Prozeßcharakterisierung.- 15 Prozeßkontrolle.- 16 Ausbeute und Zuverlässigkeit.

Ihre Fragen, Wünsche oder Anmerkungen
Vorname*
Nachname*
Ihre E-Mail-Adresse*
Kundennr.
Ihre Nachricht*
Lediglich mit * gekennzeichnete Felder sind Pflichtfelder.
Wenn Sie die im Kontaktformular eingegebenen Daten durch Klick auf den nachfolgenden Button übersenden, erklären Sie sich damit einverstanden, dass wir Ihr Angaben für die Beantwortung Ihrer Anfrage verwenden. Selbstverständlich werden Ihre Daten vertraulich behandelt und nicht an Dritte weitergegeben. Sie können der Verwendung Ihrer Daten jederzeit widersprechen. Das Datenhandling bei Sack Fachmedien erklären wir Ihnen in unserer Datenschutzerklärung.