Setter | Electroceramic-Based MEMS | E-Book | www.sack.de
E-Book

E-Book, Englisch, 414 Seiten

Setter Electroceramic-Based MEMS

Fabrication-Technology and Applications
1. Auflage 2006
ISBN: 978-0-387-23319-2
Verlag: Springer-Verlag
Format: PDF
 Kopierschutz: Wasserzeichen (»Systemvoraussetzungen)

Fabrication-Technology and Applications

E-Book, Englisch, 414 Seiten

ISBN: 978-0-387-23319-2
Verlag: Springer-Verlag
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 Kopierschutz: Wasserzeichen (»Systemvoraussetzungen)

The book is focused on the use of functional oxide and nitride thin films to increase functionality and application range of MEMS (microelectromechanical systems) in the large sense, including micro-sensors, micro-actuators, and electronic components for high frequency communications. The book covers major topics and is divided into two parts (a) applications and emerging applications, and (b) materials, fabrication technologies, and functioning issues.

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Autoren/Hrsg.

Setter, Nava
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