Wang | Green Etching Techniques for MEMS Applications | E-Book | www.sack.de
E-Book

E-Book, Englisch, 134 Seiten

Wang Green Etching Techniques for MEMS Applications

Sustainable, Fluorine-Free Etching Methods for Micro-Electro-Mechanical Systems
Erscheinungsjahr 2025
ISBN: 978-1-040-76694-1
Verlag: Taylor & Francis eBooks
Format: PDF
 Kopierschutz: Adobe DRM (»Systemvoraussetzungen)

Sustainable, Fluorine-Free Etching Methods for Micro-Electro-Mechanical Systems

E-Book, Englisch, 134 Seiten

ISBN: 978-1-040-76694-1
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Autoren/Hrsg.

Wang, Kaiying
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