Yu / Pan | Design for Manufacturability with Advanced Lithography | E-Book | www.sack.de
E-Book

E-Book, Englisch, 164 Seiten

Reihe: Engineering

Yu / Pan Design for Manufacturability with Advanced Lithography


1. Auflage 2016
ISBN: 978-3-319-20385-0
Verlag: Springer International Publishing
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

E-Book, Englisch, 164 Seiten

Reihe: Engineering

ISBN: 978-3-319-20385-0
Verlag: Springer International Publishing
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

This book introduces readers to the most advanced research results on Design for Manufacturability (DFM) with multiple patterning lithography (MPL) and electron beam lithography (EBL). The authors describe in detail a set of algorithms/methodologies to resolve issues in modern design for manufacturability problems with advanced lithography. Unlike books that discuss DFM from the product level or physical manufacturing level, this book describes DFM solutions from a circuit design level, such that most of the critical problems can be formulated and solved through combinatorial algorithms.

Yu / Pan Design for Manufacturability with Advanced Lithography jetzt bestellen!

Zielgruppe

Research

Autoren/Hrsg.

Yu, Bei
Pan, David Z.

Weitere Infos & Material

Introduction.- Layout Decomposition for Triple Patterning.- Layout Decomposition for Other Patterning Techniques.- Standard Cell Compliance and Placement Co-Optimization.- Design for Manufacturability with E-Beam Lithography.- Conclusions and Future Works.-

Ihre Fragen, Wünsche oder Anmerkungen
Vorname*
Nachname*
Ihre E-Mail-Adresse*
Kundennr.
Ihre Nachricht*
Lediglich mit * gekennzeichnete Felder sind Pflichtfelder.
Wenn Sie die im Kontaktformular eingegebenen Daten durch Klick auf den nachfolgenden Button übersenden, erklären Sie sich damit einverstanden, dass wir Ihr Angaben für die Beantwortung Ihrer Anfrage verwenden. Selbstverständlich werden Ihre Daten vertraulich behandelt und nicht an Dritte weitergegeben. Sie können der Verwendung Ihrer Daten jederzeit widersprechen. Das Datenhandling bei Sack Fachmedien erklären wir Ihnen in unserer Datenschutzerklärung.