Microsensors, Mems, and Smart Devices

1. Auflage 2001
ISBN: 978-0-471-86109-6
Verlag: Wiley

Buch, Englisch, 522 Seiten, Format (B × H): 173 mm x 248 mm, Gewicht: 1111 g

"Smart Devices" sind gefragt: Ob es um "intelligente" Wandverkleidungen zur Lärmdemmung in Hubschraubern oder um "sprechende" Etiketten von Nahrungsmitteln geht, "mitdenkende" Geräte könnten uns das Leben in vielen Bereichen erleichtern. Die Autoren dieses Buches beschreiben einerseits die Herstellung intelligenter Sensoren und andererseits deren Verknüpfung mit speziellen Stellgliedern zu mikroelektromechanischen Systemen, von deren Möglichkeiten der Leser einen umfassenden Eindruck erhält.

Autoren/Hrsg.

Gardner, Julian W

Varadan, Vijay K

Awadelkarim, Osama O

Fachgebiete

• Technische Wissenschaften Verfahrenstechnik | Chemieingenieurwesen | Biotechnologie Fertigungsverfahren der Präzisionsgeräte
• Technische Wissenschaften Elektronik | Nachrichtentechnik Elektronik Bauelemente, Schaltkreise
• Technische Wissenschaften Maschinenbau | Werkstoffkunde Technische Mechanik | Werkstoffkunde Materialwissenschaft: Elektronik, Optik
• Technische Wissenschaften Elektronik | Nachrichtentechnik Elektronik Elektronische Baugruppen, Elektronische Materialien

Inhaltsverzeichnis

Introduction

Electronic Materials and Processing

MEMS Materials and their Preparation

Standard Microelectronic Technologies

Silicon Micromachining:Bulk

Silicon Micromachining: Surface

Microstereolithography for MEMS

Microsensors

Introduction to SAW Devices

Surface Acoustic Waves in Solids

IDT Microsensor Parameter Measurement

IDT Microsensor Fabrication

IDT Microsensors

MEMS-IDT Microsensors

Smart Sensors and MEMS

Appendices

Index

Über Autor(innen)

Julian W. Gardner is the author of Microsensors, MEMS, and Smart Devices, published by Wiley.

Vijay K. Varadan is the author of Microsensors, MEMS, and Smart Devices, published by Wiley.

Osama O. Awadelkarim is the author of Microsensors, MEMS, and Smart Devices, published by Wiley.