Zhang / Chou / Shi | Measurement Technology for Micro-Nanometer Devices | E-Book | www.sack.de
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E-Book, Englisch, 344 Seiten, E-Book

Zhang / Chou / Shi Measurement Technology for Micro-Nanometer Devices


1. Auflage 2016
ISBN: 978-1-118-71799-8
Verlag: John Wiley & Sons
Format: EPUB
Kopierschutz: Adobe DRM (»Systemvoraussetzungen)

E-Book, Englisch, 344 Seiten, E-Book

ISBN: 978-1-118-71799-8
Verlag: John Wiley & Sons
Format: EPUB
Kopierschutz: Adobe DRM (»Systemvoraussetzungen)



A fully comprehensive examination of state-of-the-art technologies for measurement at the small scale
* Highlights the advanced research work from industry and academia in micro-nano devices test technology
* Written at both introductory and advanced levels, provides the fundamentals and theories
* Focuses on the measurement techniques for characterizing MEMS/NEMS devices

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