Alatas | Kapazitives Messsystem zur Charakterisierung von planaren elektronischen Strukturen | Buch | 978-3-8440-3458-5 | sack.de

Buch, Deutsch, 210 Seiten, PB, Format (B × H): 148 mm x 210 mm, Gewicht: 315 g

Reihe: Reports on Measurement and Sensor Systems

Alatas

Kapazitives Messsystem zur Charakterisierung von planaren elektronischen Strukturen


1. Auflage 2015
ISBN: 978-3-8440-3458-5
Verlag: Shaker

Buch, Deutsch, 210 Seiten, PB, Format (B × H): 148 mm x 210 mm, Gewicht: 315 g

Reihe: Reports on Measurement and Sensor Systems

ISBN: 978-3-8440-3458-5
Verlag: Shaker


Zentrales Thema der Arbeit ist ein kapazitives Inspektions- und Messsystem für planare elektrische Strukturen. Dieses System ermöglicht eine bildgebende Messung zur Struktur- und Funktionsinspektion, sowie eine berührungslose Spannungsmessung. Im Rahmen der Arbeit wird hierzu die dem Messsystem zu Grunde liegende Theorie erarbeitet, sowie das Messsystem aufgebaut, charakterisiert und validiert. Ferner wird ein Messansatz zur simultanen Messung von zwei unabhängigen Messgrößen erarbeitet und evaluiert.

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