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Vaz / Martin / Fenker Metallic Oxynitride Thin Films by Reactive Sputtering and Related Deposition Methods: Process, Properties and Applications
1. Auflage 2013Verlag: Bentham Science PublishersISBN: 978-1-60805-156-4Medium: eBookFormat: EPUB
Kopierschutz: 0 - No protection35,66 € (inkl. MwSt.)
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