Mahan | Physical Vapor Deposition of Thin Films | Buch | 978-0-471-33001-1 | sack.de

Buch, Englisch, 336 Seiten, Format (B × H): 161 mm x 242 mm, Gewicht: 608 g

Mahan

Physical Vapor Deposition of Thin Films

Buch, Englisch, 336 Seiten, Format (B × H): 161 mm x 242 mm, Gewicht: 608 g

ISBN: 978-0-471-33001-1
Verlag: Wiley


Vom entspiegelten Brillenglas bis zur CD und zum Festplattenlaufwerk: Dünne Schichten mit speziellen optischen oder magnetischen Eigenschaften werden immer verbreiteter eingesetzt! Eine Methode der Herstellung solcher Schichten, die physikalische Abscheidung aus der Gasphase, bildet das zentrale Thema dieses Buches. Ebensogut als Lehrbuch wie als Nachschlagewerk für die Berufspraxis geeignet! (11/99)
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Autoren/Hrsg.


Weitere Infos & Material


Introduction to Physical Vapor Deposition.

The Kinetic Theory of Gases.

Adsorption and Condensation.

Principles of High Vacuum.

Evaporation Sources.

Principles of Sputtering Discharges.

Sputtering.

Film Deposition.

Index.


JOHN E. MAHAN, PhD, is Professor of Electrical Engineering at Colorado State University.


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