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Cheng | Research on Chemical Mechanical Polishing Mechanism of Novel Diffusion Barrier Ru for Cu Interconnect | E-Book | sack.de
E-Book

E-Book, Englisch, 148 Seiten, eBook

Reihe: Springer Theses

Cheng Research on Chemical Mechanical Polishing Mechanism of Novel Diffusion Barrier Ru for Cu Interconnect


1. Auflage 2018
ISBN: 978-981-10-6165-3
Verlag: Springer Singapore
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

E-Book, Englisch, 148 Seiten, eBook

Reihe: Springer Theses

ISBN: 978-981-10-6165-3
Verlag: Springer Singapore
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

This thesis addresses selected unsolved problems in the chemical mechanical polishing process (CMP) for integrated circuits using ruthenium (Ru) as a novel barrier layer material. Pursuing a systematic approach to resolve the remaining critical issues in the CMP, it first investigates the tribocorrosion properties and the material removal mechanisms of copper (Cu) and Ru in KIO 4 -based slurry. The thesis subsequently studies Cu/Ru galvanic corrosion from a new micro and in-situ perspective, and on this basis, seeks ways to mitigate corrosion using different slurry additives. The findings presented here constitute a significant advance in fundamental and technical investigations into the CMP, while also laying the groundwork for future research.
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Zielgruppe

Research

Autoren/Hrsg.

Cheng, Jie

Weitere Infos & Material

Introduction.- Material Removal Mechanism of Cu in KIO 4 -based Slurry.- Material Removal Mechanism of Ru in KIO 4 -based Slurry.- Tribocorrosion Investigations of Cu/Ru Interconnect Structure during CMP.- Micro-galvanic Corrosion of Cu/Ru Couple in KIO 4  Solution.- Galvanic Corrosion Inhibitors for Cu/Ru Couple During Chemical Mechanical Polishing of Ru.- Synergetic Effect of Potassium Molybdate and Benzotriazole on the CMP of Ru and Cu in KIO 4 -based Slurry.- Conclusions and Recommendations.

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