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Technische Wissenschaften
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Frühauf Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique
A Manual of Wet-Etched Silicon Structures1. Auflage. Softcover version of original hardcover Auflage 2005Verlag: SpringerISBN: 978-3-642-06048-9Medium: Buch129,98 € (inkl. MwSt.)
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Frühauf Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique
A Manual of Wet-Etched Silicon Structures1. Auflage 2004Verlag: SpringerISBN: 978-3-540-22109-8Medium: Buch106,99 € (inkl. MwSt.)
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