Schwesinger / Adler / Dehne | Lehrbuch Mikrosystemtechnik | Buch | 978-3-486-57929-1 | www.sack.de

Buch, Deutsch, 582 Seiten, Format (B × H): 170 mm x 240 mm, Gewicht: 11120 g

Schwesinger / Adler / Dehne

Lehrbuch Mikrosystemtechnik

Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen
1. Auflage 2008
ISBN: 978-3-486-57929-1
Verlag: De Gruyter

Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen

Buch, Deutsch, 582 Seiten, Format (B × H): 170 mm x 240 mm, Gewicht: 11120 g

ISBN: 978-3-486-57929-1
Verlag: De Gruyter


Nach der Vermittlung der mechanischen und fluidischen Grundelemente werden zunächst die sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandler beschrieben. Es folgen Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik sowie zu Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten, bevor die Konfektionierung der Mikrokomponenten erläutert und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen gegeben wird. Abschließend werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien und der effektive Materialeinsatz diskutiert. Zu allen Kapiteln und größeren Abschnitten gibt es Zusammenfassungen, eine Übersicht über wichtige Schlüsselbegriffe sowie Hinweise auf weiterführende Literatur. Dadurch ist ein effizienter Einsatz des Buchs als Lehr- und Nachschlagewerk garantiert.

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Zielgruppe


Studierende der Elektrotechnik und Informationstechnik



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