Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices

Advanced Micro and Nanosystems
1. Auflage 2004
ISBN: 978-3-527-30746-3
Verlag: Wiley VCH Verlag GmbH

Buch, Englisch, Band 1, 427 Seiten, Format (B × H): 180 mm x 251 mm, Gewicht: 973 g

Reihe: Advanced Micro and Nanosystems

Mikro- und Nanotechnik haben Wissenschaft und Forschung revolutioniert. In Zukunft werden sie auch den Alltag verändern. Nun liegt der erste Band einer neuen Buchreihe vor: Advanced Micro and Nano Systems 1. Henry Baltes und seine Co-Autoren knüpfen mit AMN an die Sensors Update-Reihe an. Das Autorenteam wurde um weitere Experten erweitert. AMN wird zwei Mal pro Jahr mit einem neuen Band die aktuellen Entwicklungen in der Mikro- und Nano-Welt begleiten.

Die Erforschung und der Einsatz von Mikro- und Nanosystemen sind eines der brandaktuellen Themen im Wissenschaftsbereich. Die Forschungsergebnisse werden mehr und mehr auch konkret umgesetzt. Damit werden Mikro- und Nanotechnologie zu Wirtschaftsfaktoren.
Aktuelle Entwicklungen, neue Technologien, Nano-Bauelemente und Systeme im Mikromaßstab - Advanced Micro and Nano Systems, die neue Buchreihe, wird Spiegel der spannenden und faszinierenden Mikro- und Nano-Welt sein. Zweimal pro Jahr wird es einen neuen AMN-Band geben. Die Autoren sind ausgewiesene Spezialisten. Zu den Herausgebern zählt Henry Baltes, Professor an der ETH Zürich. Er zeichnete bereits für die Bände der Sensors Update-Reihe verantwortlich.
Die Artikel ermöglichen Neueinsteigern einen ersten Zugriff auf die Materie. Fachleute erhalten einen umfassenden Überblick. Anspruch der Herausgeber ist es, nicht nur die theoretischen Grundlagen von Mikro- und Nanosystemen zu reflektieren, sondern immer auch praktische Möglichkeiten und die Grenzen der Anwendung im Blick zu haben. Die AMN-Bände sind Handbücher und Nachschlagewerke in einem. Die Reihe richtet sich an Vertreter unterschiedlicher Fachrichtungen: Biologie, Chemie, Mathematik, Sensorindustrie und Materialwissenschaften.

Zielgruppe

Sensorindustrie, Halbleiterindustrie, Chemiker, Materialwissenschaftler

Autoren/Hrsg.

Baltes, Henry

Brand, Oliver

Fedder, Gary K.

Hierold, Christofer

Korvink, Jan G.

Tabata, Osamu

Fachgebiete

• Technische Wissenschaften Elektronik | Nachrichtentechnik Elektronik Elektronische Baugruppen, Elektronische Materialien
• Technische Wissenschaften Maschinenbau | Werkstoffkunde Maschinenbau Mechatronik, Mikrosysteme (MEMS), Nanosysteme
• Technische Wissenschaften Technik Allgemein Nanotechnologie

Inhaltsverzeichnis

MEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONSM3: The Third Dimension of SiliconTrends in MEMS CommercializationCapacitive Interfaces for MEMSPackaging of Advanced Micro- and NanosystemsHigh Frequency Integrated Micro-electromechanical Resonators and FiltersMEMS in Mass Storage SystemsScanning Micro- and Nanoprobes for Electrochemical ImagingNANODEVICE TECHNOLOGIES AND APPLICATIONSNanofluidic SimulationsNanofluidics - Structures and DevicesCarbon Nanotubes and Sensors: a ReviewCMOS-based DNA Sensor Arrays

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Über Autor(innen)

Henry Baltes is Professor Emeritus of ETH Zurich affiliated with Micro and Nanosystems at the Department of Mechanical and Process Engineering. He was Professor of Physical Electronics at ETH Zurich and Director of the Physical Electronics Laboratory (PEL) from 1988 to 2006. In 2004 and 2005 he acted as start-up Chair of the future Department of Biosystems Science and Engineering (D-BSSE) of ETH Zurich located at Basel. Henry Baltes is a Fellow of the IEEE and a Member of the Swiss Academy of Technical Sciences. He served on the Editorial Board of the Proceedings of the IEEE, the Search Committee of the Koerber Foundation, and the Advisory Committee of the Freiburg Institute of Advanced Sudies. He is a co-founder of the spin-off company SENSIRION.