Buch, Deutsch, Band 11, 168 Seiten, Format (B × H): 148 mm x 210 mm, Gewicht: 288 g
Buch, Deutsch, Band 11, 168 Seiten, Format (B × H): 148 mm x 210 mm, Gewicht: 288 g
Reihe: Bayreuther Beiträge zu Materialien und Prozessen
ISBN: 978-3-8440-6725-5
Verlag: Shaker
In der vorliegenden Arbeit wurde der Einfluss unterschiedlicher Pulverparameter, der Substrathärte und der Trägergasart auf die aerosolbasierte Kaltabscheidung untersucht. Im Fokus der Untersuchungen standen dabei z.B. die resultierende Abscheiderate, die mechanischen Schichtspannungen oder auch die Transmission der Schichten. Mit den dabei gewonnenen Erkenntnissen wurden Schichten aus Al2O3 hergestellt, deren spezifischer elektrischer Widerstand bis zu Temperaturen von 900 °C mit Elektroden in Schutzringanordnung untersucht wurde. Weiterhin wurden Messungen zum Einfluss des Sauerstoffpartialdruckes auf die Leitfähigkeit der Schichten und die Entwicklung der dielektrischen Verluste bei einer Temperaturbehandlung untersucht. Im letzten Abschnitt dieser Arbeit wurde der mögliche Einsatz kaltabgeschiedener Al2O3-Schichten als Passivierungsschichten zur Abdeckung von Platinstrukturen untersucht.