Grundlagen integrierter Schaltungen

Bauelemente und Mikrostrukturierung
2. Auflage 2010
ISBN: 978-3-446-42232-2
Verlag: Hanser Fachbuchverlag

Buch, Deutsch, 236 Seiten, Format (B × H): 165 mm x 240 mm, Gewicht: 443 g

Dieses Buch beschreibt den Aufbau und die Funktionsweise elektronischer Bauelemente in einer integrierten Schaltung sowie den Herstellungsprozess für ICs. Es richtet sich an Studierende und Dozenten der Hochschulen aus den Bereichen Elektrotechnik, Mikrosystemtechnik oder Physik. Auch Mitarbeiter aus der Halbleiterindustrie können dieses Buch als Nachschlagewerk nutzen.

Nach einem kurzen Einblick in die Entwicklung integrierter Schaltungen wird der Aufbau der verschiedenen Bauelemente in einem IC detailliert beschrieben. Dazu gehören Dioden, Widerstände und Kondensatoren sowie Bipolar- und MOS-Transistoren. Anschließend werden die eingesetzten Prozesse zur Mikrostrukturierung erläutert:

- Herstellung dünner Schichten auf einem Siliziumwafer
- Fotolithographie und Ätzprozesse zur Strukturierung
- Dotierung

Auf dieses Wissen aufbauend wird ein vollständiger CMOS-Prozess von der Wafererzeugung bis zur Metallisierung beschrieben. Die für das Einsetzen eines Chips in ein Plastikgehäuse verwendeten Aufbau- und Verbindungstechniken folgen. Zum Schluss werden die Testverfahren erläutert, mit denen die Qualität der ICs festgelegt wird.

Neu aufgenommen in diese Auflage wurden Übungsaufgaben zu jedem Kapitel. Damit kann der Leser sein Wissen entsprechend überprüfen. Zugehörige Lösungen unter:

www.hochschule-bochum.de/fbe/bauelemente-u-mikroelektronik/veroeffentlichungen/fachbuecher.html

Zielgruppe

Studierende der Elektrotechnik, Physik und Mikrosystemtechnik (ab 3. Semester)
Ingenieure und Facharbeiter der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik-Industrie

Autoren/Hrsg.

Albers, Jan

Fachgebiete

• Technische Wissenschaften Elektronik | Nachrichtentechnik Elektronik Halb- und Supraleitertechnologie
• Technische Wissenschaften Elektronik | Nachrichtentechnik Elektronik Bauelemente, Schaltkreise

Über Autor(innen)

Prof. Dr. Jan Albers ist seit 2008 an der Hochschule Bochum für elektronische Bauelemente und Mikroelektronik berufen. Zuvor war er als Leiter der Schulungsabteilung bei der ELMOS Semiconductor AG verantwortlich für die Weiterbildung der Ingenieure im Bereich Reinraum- und Prozesstechnologie.