Grund | Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren | Buch | 978-3-86644-496-6 | sack.de

Buch, Deutsch, Band 2, 125 Seiten, Paperback, Format (B × H): 148 mm x 210 mm, Gewicht: 222 g

Reihe: Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie

Grund

Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren


Buch, Deutsch, Band 2, 125 Seiten, Paperback, Format (B × H): 148 mm x 210 mm, Gewicht: 222 g

Reihe: Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie

ISBN: 978-3-86644-496-6
Verlag: Karlsruher Institut für Technologie

Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.
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Autoren/Hrsg.

Grund, Thomas
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