Zetterer, T: Praxiswissen Mikrosystemtechnik

2., vollständig überarbeitete und erweiterte Auflage 2006
ISBN: 978-3-528-13891-2
Verlag: Vieweg+Teubner Verlag

Buch, Deutsch, 494 Seiten, Format (B × H): 170 mm x 244 mm, Gewicht: 1049 g

Reihe: Vieweg Praxiswissen

1.1 Von der Mikroelektronik zur Mikrosystemtechnik Es gibt zweifellos kein Gebiet der Wissenschaft und Technik des 20. Jahrhunderts, das eine vergleichbar stürmische Entwicklung erfahren hat wie die Mikroelektronik in den vergangenen 50 Jahren. Mit der Erfindung des Transistors (1948) und der Herstellung erster integrierter Schaltungen auf der Basis des Halbleitermaterials Silizium (1958) begann eine technische Revolution, die mit ihren Ergebnissen und Produkten inzwischen in fast alle Lebensbereiche unserer Gesellschaft hineinwirkt. Ohne die Erfolge der Mikroelektronik wäre die moderne Informations- und Kommunikationstechnik, die inzwischen die Berufswelt vieler Menschen wesentlich verändert hat, nicht denkbar. Das gilt auch für andere Bereiche wie z. B. die Me- zin-, die Verkehrs- und die Produktionstechnik. Der große technologische Fortschritt der Mikroelektronik beruht auf Miniaturisierung und Integration. Vor der Mikroelektronik wurden elektrische/elektronische Schaltungen aus - chanisch gefertigten Bauteilen wie Kondensatoren, Widerständen oder Elektronenröhren - sammengefügt und individuell abgeglichen. Aufgrund der Größe der Bauelemente war der Platzbedarf und das Gewicht hoch, die Packungs- und Funktionsdichte gering. Durch die - kroelektronik wandelte sich die Fertigung elektronischer Systeme grundlegend. Die B- elemente einer Schaltung wurden nun durch photolithographische Strukturierung und durch Schichttechnologien auf einem gemeinsamen Halbleiter-Substrat, dem Siliziumwafer, erzeugt.

Zielgruppe

Upper undergraduate

Autoren/Hrsg.

Völklein, Friedemann

Zetterer, Thomas

Fachgebiete

• Technische Wissenschaften Maschinenbau | Werkstoffkunde Produktionstechnik Industrielle Qualitätskontrolle
• Technische Wissenschaften Technik Allgemein Ingenieurwissenschaftliches Knowhow
• Technische Wissenschaften Maschinenbau | Werkstoffkunde Produktionstechnik Fertigungstechnik, Automatisierung
• Technische Wissenschaften Technik Allgemein Physik, Chemie für Ingenieure

Inhaltsverzeichnis

Basistechnologien der Mikrosystemtechnik.- Grundstrukturen und Anwendungen.- Systemintegration.- Beispiele komplexer Mikrosysteme.

Über Autor(innen)

Prof. Dr. Friedemann Völklein lehrt im Fachbereich Physikalische Technik der FH Wiesbaden und ist Direktor des Instituts für Mikrotechnologien (IMtech).

Dr. Thomas Zetterer war wissenschaftlicher Abteilungsleiter am Institut für Mikrotechnik Mainz (IMM) und ist jetzt in der Entwicklungsabteilung bei SCHOTT Electronic Packaging, Landshut, tätig.